ГОСТ Р 52250-2004. Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия

.
Наименование документа:ГОСТ Р 52250-2004
Тип документа:ГОСТ Р(Государственный стандарт РФ)
Статус документа:Действует
Название:Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
Название англ.:Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications
Область применения:Стандарт распространяется на резисты для литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Стандарт применяют при разработке ТУ на резисты конкретных марок, а также совместно с ТУ при их приемке и поставке.
Краткое содержание:

1 Область применения

2 Нормативные ссылки

3 Термины, определения и сокращения

4 Классификация и основные параметры

5 Технические требования

6 Требования к обеспечению качества

7 Контроль качества и правила приемки

8 Методы контроля

9 Транспортирование и хранение

10 Указания по применению

11 Гарантии изготовителя

Комментарий:Введен впервые с правом досрочного применения
Дата добавления в базу:01.09.2013
Дата актуализации:01.12.2013
Дата введение:01.01.2005
Доступно сейчас для просмотра:100% текста. Полная версия документа.
Организации:
Связанные документы:

ГОСТ 17622-72 Стекло органическое техническое. Технические условия

ГОСТ 2.114-95 Единая система конструкторской документации. Технические условия

ГОСТ 12.1.005-88 Система стандартов безопасности труда. Общие санитарно-гигиенические требования к воздуху рабочей зоны

ГОСТ 12.1.007-76 Система стандартов безопасности труда. Вредные вещества. Классификация и общие требования безопасности

ГОСТ Р 50766-95 Помещения чистые. Классификация. Методы аттестации. Основные требования

ГОСТ 12.1.014-84 Система стандартов безопасности труда. Воздух рабочей зоны. Метод измерения концентраций вредных веществ индикаторными трубками

ГОСТ 14192-96 Маркировка грузов

ГОСТ 7376-89 Картон гофрированный. Общие технические условия

ГОСТ 33-2000 Нефтепродукты. Прозрачные и непрозрачные жидкости. Определение кинематической вязкости и расчет динамической вязкости

ГОСТ 10028-81 Вискозиметры капиллярные стеклянные. Технические условия

ГОСТ 13841-95 Ящики из гофрированного картона для химической продукции. Технические условия

ГОСТ 14870-77 Продукты химические. Методы определения воды

ГОСТ 19433-88 Грузы опасные. Классификация и маркировка

ГОСТ 22001-87 Реактивы и особо чистые вещества. Метод атомно-абсорбционной спектрометрии определения примесей химических элементов

ГОСТ 27025-86 Реактивы. Общие указания по проведению испытаний

ГОСТ 3885-73 Реактивы и особо чистые вещества. Правила приемки, отбор проб, фасовка, упаковка, маркировка, транспортирование и хранение

.
Помните!
Вся полученная прибыль с сайта идет на развитие проекта, оплату услуг хостинг-провайдера, еженедельные обновления базы данных СНИПов, улучшение предоставлямых сервисов и услуг портала.
Скачайте «ГОСТ Р 52250-2004. Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия» и внесите свой малый вклад в развитие сайта!