ГОСТ 19658-81. Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия

.
Наименование документа:ГОСТ 19658-81
Тип документа:ГОСТ(Государственный стандарт)
Статус документа:Действует
Название:Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия
Название англ.:Silicon monocrystalline in ingots. Specifications
Область применения:Стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл - диэлектрик - полупроводник.
Краткое содержание:

1 Технические требования

2 Правила приемки

3 Методы контроля

4 Упаковка, маркировка, транспортирование и хранение

5 Гарантии изготовителя

Приложение 1а

Приложение 1 Определение монокристалличности и отсутствия внешних дефектов на поверхности слитков кремния

Приложение 2 Определение типа электропроводности

Приложение 3 Измерение удельного электрического сопротивления четырехзондовым методом

Приложение 4 Определение плотности дислокаций в монокристаллических слитках кремния

Приложение 5 Измерение угла отклонения плоскости торцевого среза монокристаллического слитка кремния от заданной кристаллографической плоскости и идентификация кристаллографической ориентации плоскости торцевого среза слитка с заданной кристаллографической плоскостью рентгеновским дифрактометрическим методом

Приложение 6 Определение ула отклонения плоскости торцевого среза от заданной кристаллографической плоскости слитков монокристаллического кремния оптическим методом

Приложение 7 Измерение концентрации атомов оптически активного кислорода в слитках монокристаллического кремния

Приложение 8 Измерение времени жизни неравновесных носителей заряда (н.н.з.) в слитках монокристаллического кремния методом модуляции проводимости в точечном контакте

Приложение 8а Измерение концентрации атомов оптически активного углерода в слитках монокристаллического кремния

Приложение 9 Контроль наличия свирлевых дефектов в бездислокационных слитках монокристаллического кремния

Комментарий:Ограничение срока действия снято: Постановление Госстандарта № 480 от 12.05.92
Дата добавления в базу:01.09.2013
Дата актуализации:01.12.2013
Дата введение:01.01.1983
Доступно сейчас для просмотра:100% текста. Полная версия документа.
Организации:
Связанные документы:

ГОСТ 2.004-88 Единая система конструкторской документации. Общие требования к выполнению конструкторских и технологических документов на печатающих и графических устройствах вывода ЭВМ

ГОСТ 14192-96 Маркировка грузов

ГОСТ 10354-82 Пленка полиэтиленовая. Технические условия

ГОСТ 427-75 Линейки измерительные металлические. Технические условия

ГОСТ 20477-86 Лента полиэтиленовая с липким слоем. Технические условия

ГОСТ 5017-74 Бронзы оловянные, обрабатываемые давлением. Марки

ГОСТ 2874-82 Вода питьевая. Гигиенические требования и контроль за качеством

ГОСТ 2263-79 Натр едкий технический. Технические условия

ГОСТ 11069-74 Алюминий первичный. Марки

ГОСТ 3647-80 Материалы шлифовальные. Классификация. Зернистость и зерновой состав. Методы контроля

ГОСТ 10197-70 Стойки и штативы для измерительных головок. Технические условия

ГОСТ 10484-78 Реактивы. Кислота фтористоводородная. Технические условия

ГОСТ 11078-78 Натр едкий очищенный. Технические условия

ГОСТ 11109-90 Марля бытовая хлопчатобумажная. Общие технические условия

ГОСТ 11125-84 Кислота азотная особой чистоты. Технические условия

ГОСТ 12026-76 Бумага фильтровальная лабораторная. Технические условия

ГОСТ 12997-84 Изделия ГСП. Общие технические условия

ГОСТ 1367.0-83 Сурьма. Общие требования к методам анализа

ГОСТ 17299-78 Спирт этиловый технический. Технические условия

ГОСТ 1770-74 Посуда мерная лабораторная стеклянная. Цилиндры, мензурки, колбы, пробирки. Общие технические условия

ГОСТ 18270-72 Кислота уксусная особой чистоты. Технические условия

ГОСТ 18300-87 Спирт этиловый ректификованный технический. Технические условия

ГОСТ 24392-80 Кремний и германий монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления четырехзондовым методом

ГОСТ 2548-77 Ангидрид хромовый технический. Технические условия

ГОСТ 25593-83 Пасты алмазные. Технические условия

ГОСТ 2567-89 Кислота фтористоводородная техническая. Технические условия

ГОСТ 26239.1-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей

ГОСТ 29298-92 Ткани хлопчатобумажные и смешанные бытовые. Общие технические условия

ГОСТ 29329-92 Весы для статического взвешивания. Общие технические требования

ГОСТ 334-73 Бумага масштабно-координатная. Технические условия

ГОСТ 3776-78 Реактивы. Хрома (VI)окись. Технические условия

ГОСТ 4160-74 Калий бромистый. Технические условия

ГОСТ 4220-75 Калий двухромовокислый. Технические условия

ГОСТ 4461-77 Реактивы. Кислота азотная. Технические условия

ГОСТ 5959-80 Ящики из листовых древесных материалов неразборные для грузов массой до 200 кг. Общие технические условия

ГОСТ 5962-67 Спирт этиловый ректификованный. Технические условия

ГОСТ 61-75 Реактивы. Кислота уксусная. Технические условия

ГОСТ 701-89 Кислота азотная концентрированная. Технические условия

ГОСТ 9206-80 Порошки алмазные. Технические условия

ГОСТ 9285-78 Калия гидрат окиси технический. Технические условия

ГОСТ 9412-93 Марля медицинская. Общие технические условия

ГОСТ 9696-82 Индикаторы многооборотные с ценой деления 0,001 и 0,002 мм. Технические условия

.
Помните!
Вся полученная прибыль с сайта идет на развитие проекта, оплату услуг хостинг-провайдера, еженедельные обновления базы данных СНИПов, улучшение предоставлямых сервисов и услуг портала.
Скачайте «ГОСТ 19658-81. Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия» и внесите свой малый вклад в развитие сайта!