СТ СЭВ 4281-83. Пластины кремниевые. Размеры

.
Наименование документа:СТ СЭВ 4281-83
Тип документа:СТ СЭВ(Стандарт стран входящих в Совет экономической взаимопомощи)
Статус документа:Действует
Название:Пластины кремниевые. Размеры
Область применения:Стандарт СЭВ распространяется на пластины монокристаллического кремния, предназначенные для производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.
Краткое содержание:

Приложение Термины и определения

Дата добавления в базу:01.09.2013
Дата актуализации:01.12.2013
Дата введение:01.01.1983
Доступно сейчас для просмотра:100% текста. Полная версия документа.
Организации:
.

СОВЕТ
ЭКОНОМИЧЕСКОЙ
ВЗАИМОПОМОЩИ

СТАНДАРТ СЭВ

СТ СЭВ 4281-83

ПЛАСТИНЫ КРЕМНИЕВЫЕ

Размеры

 

 

Утвержден Постоянной Комиссией по сотрудничеству в области стандартизации Дрезден, декабрь 1983 г.

Настоящий стандарт СЭВ распространяется на пластины монокристаллического кремния (далее - пластины), предназначенные для производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.

Размеры пластин должны соответствовать приведенным в таблице.

Диаметр, mm

Толщина, mm

Длина основного среза, mm

Длина вспомогательного среза, mm

Закругленность края пластины, mm

Номин.

Пред. откл.

Номин.

Пред. откл.

Глубина

Ширина

51

±0,5

230

±20

От 16 до 20

От 6 до 11

От 40 до 120

От 75 до 500

250

275*

325

330

60

300*

От 18 до 22

От 8 до 10

350

76

350

От 19 до 27

От 9 до 15

От 50 до 220

От 75 до 1000

375

380*

450

457

510

100

±0,8

460

±25

От 30 до 35

От 16 до 20

500*

525

575

625

125

±1,0

500

От 35 до 45

От 20 до 30

560

600*

625

650

675

150

600

От 47 до 53

От 24 до 30

650*

700

850

* Предпочтительные числовые значения величин.

ИНФОРМАЦИОННОЕ ПРИЛОЖЕНИЕ

ТЕРМИНЫ И ОПРЕДЕЛЕНИЯ

Термин

Определение

1. Пластина

Часть монокристалла кремния, ограниченная двумя параллельными поверхностями

2. Срез

Прямой край пластины, образуемый удалением сегмента

3. Основной срез

Срез наибольшей длины, ориентированный по отношению к кристаллографическим направлениям и плоскостям кристалла

4. Вспомогательный срез

Срез используемый для маркировки пластины

5. Закругленность края пластины

Обработанный край пластины (см. чертеж)

Допускается скругление края пластины в пределах полей допусков.

 

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

1. Автор - делегация ЧССР в Постоянной Комиссии по сотрудничеству в области радиотехнической и электронной промышленности.

2. Тема 18.600.06-81.

3. Стандарт СЭВ утвержден на 54-м заседании ПКС.

4. Сроки начала применения стандарта СЭВ:

Страны - члены СЭВ

Сроки начала применения стандарта СЭВ

в договорно-правовых отношениях по экономическому и научно-техническому сотрудничеству

в народном хозяйстве

НРБ

Июль 1985 г.

Июль 1985 г.

ВНР

Июль 1985 г.

Июль 1985 г.

СРВ

 

 

ГДР

Июль 1985 г.

Июль 1985 г.

Республика Куба

 

 

МНР

 

 

ПНР

 

 

СРР

-

-

СССР

Июль 1985 г.

Июль 1985 г.

ЧССР

Июль 1985 г.

Июль 1985 г.

5. Срок проверки - 1990 г.

 

 

.
Помните!
Вся полученная прибыль с сайта идет на развитие проекта, оплату услуг хостинг-провайдера, еженедельные обновления базы данных СНИПов, улучшение предоставлямых сервисов и услуг портала.
Скачайте «СТ СЭВ 4281-83. Пластины кремниевые. Размеры» и внесите свой малый вклад в развитие сайта!